催化裝置主要由阻火器、熱交換器、催化反應床、風機組成。

催化燃燒用表面有貴金屬和金屬氧化物的催化劑，如鉑、鈀，能在較低溫度下將有機污染物氧化成二氧化碳和水。

廢氣經阻火器過濾后，通過主進閥、旁通閥切換調節進入熱交換器，換熱升溫后到預熱室，再到催化反應床進行氧化反應。反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱后由引風機排入大氣。

UV 光催化設備凈化裝置的金屬結構部分由箱體及通風管道組成，箱體設計要綜合考慮氣體流量、壓力、濃度和種類等，一般用 201 不銹鋼板制作。

電控系統主要由鎮流器、交流接觸器、控制開關組成，可多組控制，節能環保。反應系統由高能 UV 燈管及光觸媒組成，其布局和數量要根據處理氣體的情況調整。

三元催化器一般由殼體、載體總成和內襯墊 3 部分組成。外殼采用不銹鋼板焊接，防氧化皮脫落堵塞。載體多為整體式蜂窩狀陶瓷，主要成分是堇青石，形狀有圓柱體、橢圓柱體等，可根據整車布置選擇。

催化燃燒裝置還有預處理系統、吸附劑箱或轉輪、換熱器、預熱室、電控柜等。

與熱力燃燒法相比，催化燃燒輔助燃料少、能耗低、設備體積小，熱回收率高達 95%。適用范圍廣，能處理幾乎所有怪類有機廢氣及惡臭氣體，對于低濃度、多成分、低回收價值的廢氣，采用吸附一催化燃燒法效果和經濟性更好，處理效率高且無二次污染。